中國芯 芯夢(mèng)想——華虹無錫12英寸集成電路生產(chǎn)線項(xiàng)目 光刻機(jī)成功搬入與華虹無錫純廢水項(xiàng)目UPW順利出水
時(shí)間:2019-06-062019年6月6日,中電二公司華虹無錫12英寸特色工藝集成電路生產(chǎn)線項(xiàng)目首批光刻機(jī)成功搬入,子公司中電環(huán)境華虹無錫純廢水項(xiàng)目順利舉行UPW出水儀式!
【光刻機(jī)搬入儀式】
2019年6月6日上午10點(diǎn),華虹無錫12英寸特色工藝集成電路生產(chǎn)線項(xiàng)目首批光刻機(jī)成功搬入!這是國內(nèi)第一條完全由中國企業(yè)自主設(shè)計(jì)建造的高等級(jí)12寸芯片廠,從開工到設(shè)備搬入僅14個(gè)月,我們?cè)俅未蚱迫虬雽?dǎo)體行業(yè)最快建廠速度!
光刻機(jī)搬入儀式由華虹宏力總裁、黨委書記唐均君主持。出席本次儀式的有江蘇省委常委、無錫市委書記李小敏,市委副書記、市長黃欽,副市長、高新區(qū)黨工委書記王進(jìn)健,華虹集團(tuán)董事長、黨委書記張素心、總裁王靖,十一科技董事長趙振元,上海建工集團(tuán)黨委副書記、總裁卞家駿,設(shè)備供應(yīng)商代表阿斯麥公司(ASML)全球資深副總裁Bert Savonije,中電二公司總經(jīng)理?xiàng)盍忌⒅须姸靖呒?jí)副總經(jīng)理夏風(fēng)、中電二公司上海公司總經(jīng)理吳學(xué)剛等參建單位、設(shè)備廠商500余位嘉賓共同見證這一重大里程碑。
今天的成功搬入,是我們同業(yè)主、總包、監(jiān)理等各參建方齊心協(xié)力、精誠合作、攻堅(jiān)克難的共同成果!
【UPW出水儀式】
下午14點(diǎn)08分,子公司中電環(huán)境華虹無錫純廢水項(xiàng)目順利舉行UPW出水儀式。
出席儀式的有華虹宏力執(zhí)行副總裁徐偉,華虹宏力副總裁、華虹7廠廠長倪立華,華虹7廠動(dòng)力部部長陶云敏,華虹7廠動(dòng)力部水氣化科長蔡志明,蘇州栗田營業(yè)部門長羅炯,項(xiàng)目推進(jìn)部中國區(qū)科長安藤一成,華虹無錫項(xiàng)目十一科技項(xiàng)目經(jīng)理繆克旭,華虹無錫栗田工業(yè)項(xiàng)目經(jīng)理曾進(jìn),中電環(huán)境副總經(jīng)理田宇鳴等領(lǐng)導(dǎo)。
華虹無錫純廢水項(xiàng)目自2019年1月5日安裝第一塊鋼板開始,到出水共經(jīng)歷了135天。盡管過程中經(jīng)歷許多磨難,但項(xiàng)目管理團(tuán)隊(duì)依托項(xiàng)目策劃,充分協(xié)調(diào)采購、勞務(wù)等資源配置,過程管控以“安全是前提,質(zhì)量是基礎(chǔ),進(jìn)度是關(guān)鍵”為方針,憑借專注精深、開放創(chuàng)新的攻堅(jiān)理念,始終堅(jiān)持精益求精、專業(yè)高效的工作要求,克服一切困難,整合一切資源,從而保證了UPW出水,且比原計(jì)劃提前了10天。
【項(xiàng)目回顧】
“芯片”是被喻為“工業(yè)糧食”和整機(jī)設(shè)備“心臟”的核心產(chǎn)品。華虹無錫項(xiàng)目是華虹集團(tuán)在上海市域以外布局的第一個(gè)半導(dǎo)體研發(fā)和制造基地,也是無錫歷史上單體投資規(guī)模最大的項(xiàng)目。項(xiàng)目建成后將有力推動(dòng)無錫集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,使無錫成為全國集成電路高端生產(chǎn)線最密集的地區(qū)之一,同時(shí)成為國家集成電路產(chǎn)業(yè)的新高地!
本項(xiàng)目總投資超過100億美元,占地700余畝。一期總投資約25億美元,Clean Room生產(chǎn)區(qū)面積約27000m2,工藝等級(jí)90-65/55納米,月產(chǎn)能40K,用于支持5G和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用。我公司承擔(dān)了本項(xiàng)目最大的潔凈室及一般機(jī)電系統(tǒng)(F01)、公共動(dòng)力系統(tǒng)(F05)、純廢水(F04)三大核心系統(tǒng)包。
我們有幸能夠參建這一偉大項(xiàng)目,深感責(zé)任重大、使命光榮!為表達(dá)我們的信心和決心,從2018年10月正式入場(chǎng)啟動(dòng)開始,公司領(lǐng)導(dǎo)班子全員深度參與,調(diào)集公司精干力量,協(xié)調(diào)總部最優(yōu)資源,全力支持項(xiàng)目建設(shè)。始終貫徹張素心董事長“安全是前提、質(zhì)量是基礎(chǔ)、進(jìn)度是關(guān)鍵”的指示,以最高的標(biāo)準(zhǔn)、最嚴(yán)的要求、最硬的作風(fēng),誓將本項(xiàng)目打造成業(yè)內(nèi)矚目的“精品工程”,回報(bào)華虹集團(tuán)對(duì)我們的信任和支持!
2019年1月1日開始接收施工作業(yè)面,2月26日潔凈室完成封閉啟動(dòng)一級(jí)潔凈管制,3月27日完成正壓送風(fēng)啟動(dòng)二級(jí)潔凈管制,4月15日一般排氣系統(tǒng)正式啟動(dòng),5月1日純廢水包ROW完成供水,5月10日CUB冰機(jī)啟動(dòng)給Clean Room供水。5月15日啟動(dòng)三級(jí)潔凈管制同步開始進(jìn)行溫濕度、潔凈度、VOC、AMC等系統(tǒng)調(diào)試測(cè)試工作。我公司作為潔凈室系統(tǒng)功能包,從深化設(shè)計(jì)到通過NEBB測(cè)試以及第三方AMC測(cè)試,6月4日各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)全部達(dá)成并滿足光刻機(jī)搬入和安裝條件,歷時(shí)僅155天!
華虹無錫項(xiàng)目的成功實(shí)施,為公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域的業(yè)績中留下了濃墨重彩的一筆。為我們?cè)诩舛税雽?dǎo)體工廠的設(shè)計(jì)、采購、施工積累了寶貴的經(jīng)驗(yàn),充分的展現(xiàn)了公司的整體技術(shù)能力!
最后,再次向華虹集團(tuán)、華虹無錫表示熱烈的祝賀!對(duì)華虹無錫項(xiàng)目業(yè)主、總包、監(jiān)理等所有參建單位和社會(huì)各界朋友給予我公司的幫助表示衷心的感謝!
預(yù)祝華虹(無錫)半導(dǎo)體有限公司早日竣工投產(chǎn)!